2026-11-04
国产特气级实验室集中供气系统落地半导体研发平台 实现高纯气零污染输送
近日，完全自主研发的特气级实验室集中供气系统正式交付国内某半导体材料研发平台，系统采用EP级电解抛光不锈钢管路与全自动轨道氩弧焊工艺，管道整体泄漏率控制在1×10⁻⁹ Pa·m³/s以内，可实现99.999%以上超高纯气体的零污染稳定输送，打破该领域长期依赖进口的局面。
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