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UHP超高纯供气系统中的细节注意点——不锈钢管道

2020-12-17
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作为不锈钢管系工程中的一员,HP超高纯供气系统更是如此,细节的重要性体现得淋漓尽致,大型气体(液体)系统中对特气纯度的使用要求可达99.9999%,可以说,特气系统每一个地方出现一个小问题,就会导致气体不纯,生产出问题,甚至事故!

现在我们来详细介绍一下其中的一个细节,UHP超高纯供气系统中的不锈钢管道!

对于半导体、集成电路、生物医药等行业来说,输送超纯介质(气体)的高纯气体管道需要的是一种综合考虑组织稳定性、耐蚀性、加工性能的不锈钢管。

因此,高纯度的管道既要有美观的外观(外部纯度),又要有物美价廉的材料(内部纯度)。

一、外部纯净:与传统不锈钢管道内外表面灰蒙蒙、凹凸不平的感觉不同,目前超纯气体管道不仅外观光洁,而且内部表面粗糙度也较好,以确保管道系统对输送的介质保持中性,并保证的彻底吹扫和清洁性能,目前工程师和技术人员经常提到的表面粗糙度Ra值正是管道系统内部表面粗糙度的基本要求。为保证自动轨焊质量和效率,当然尺寸公差也是基本的要求。

二、内部纯净指材料纯净:真正意义上的超纯净,气管材仅仅有美观的内外表面是远远不够的,对管路系统的材料也有非常严格的要求,不管是化学成分还是机械性能都有一定的定义。因此,我们所说的纯净管是由纯净管316L组成,指不锈钢中的不纯物尽可能减少到一定的范围内,非金属夹杂及气体成分控制在限度,而高纯净管则可分为BA级和EP级,超高纯供气系统一般采用不锈钢管316LEP级,即电解抛光不锈钢管。

超高纯供气系统方案纯化等级为不锈钢管。

总之,在保证超高纯电子特气管道系统中性的情况下,我们要注重管道表面粗糙度Ra值、尺寸公差和本身的洁净材质,使颗粒产生和积滞得到有效抑制,确保可焊性和焊接质量。如此可以保证内外纯净的不锈钢管子,在焊接时可减少烟尘的发生,产生颗粒,提高焊接部位的耐蚀性和平滑性。


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